Установка магнетронного напыления и плазменно-дугового осаждения многослойных наноразмерных пленок С-400-2С фирмы ULVAC (Япония)

 Установка содержит 2 магнетронных распылителя и 2 импульсные плазменно-дуговые пушки. 

Эта установка позволяет наносить на пьезоэлектрические и другие кристаллы высогоадгезионные слои металлов и диэлектриков с точностью 1 нм по толщине.