Область научных интересов лаборатории – исследования в области микро- и наноэлектроники, создание методов многопараметрового определения свойств материалов и структур, создание методов и средств прогнозирующей метрики наноструктур, позволяющей по результатам измерений на различных этапах создания, прогнозировать их функциональные параметры и свойства, обеспечение научных и практических исследований современными методами и средствами изучения и контроля наноматериалов и структур.

 Лаборатория является научной и учебно-методической базой основных образовательных программ, связанных с методами исследования материалов и структур электроники и технологиями низкоразмерных систем, а также местом проведения специализируемых практикумов и производственных практик для студентов ФНБМТ, КНиИТа и механико-математического факультета. В лаборатории микроэлектроники проводится повышение квалификации для научно-педагогических работников учреждений высшего профессионального образования по программе «Нанотехнологии: научные основы преподавания в высшей школе».