Top.Mail.Ru
Skip to main content Skip to search

УЛУЧШЕНИЕ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК АМОРФНОГО КРЕМНИЯ ПУТЁМ ПРЕДВАРИТЕЛЬНОГО ОТЖИГА

Научный отдел
Ключевые слова: 
аморфный кремний, тонкие пленки, внедрение лития, предобработка
Начальная страница: 
136
Последняя страница: 
141
УДК: 
541.135
Автор: 
Мироненко А.А.