В работе приводятся результаты экспериментальных исследований, направленных на получение материалов с модифицированными свойствами. Разработанная методика синтеза в потоках низкотемпературной плазмы позволяет эффективно управлять параметрами плёночных материалов. На примере ZnO и Si показана возможность управления оптическими, морфологическими и электрофизическими свойствами плёночных материалов.
In this paper the results of experimental studies are presented. The experiments were aimed to synthesis of materials with modified properties. A special technique of synthesis in low-temperature plasma flows allows controlling film material parameters. The possibility to control optical, morphological and electrophysical properties is shown by the examples of ZnO and Si films.
Физика
Ключевые слова:
модифицированные материалы, низкотемпературная плазма, магнетронное распыление.
modified materials, low-temperature plasma, magnetron sputtering.
Начальная страница:
47
Последняя страница:
50
УДК:
621.793; 621.039.624
Formation of Modified Materials in Flows of Low-temperature Plasma
