Участок плазмохимии

Установка травления в индуктивно связанной плазме CORIAL 200 IL (Франция)

Системы плазменной очистки ATTO II (Германия) и плазмохимического травления «Плазма- 102 ПХОМ» (Россия)

Эти системы, установленные в помещении «чистой комнаты» класса 6 ISO, позволяют изготавливать наноструктуры

Address: 83 Astrakhanskaya Street, Saratov, 410012

Rector’s Office: +7 (8452) 26 - 16 - 96 , rector@sgu.ru

Central Admissions Committee: +7 (8452) 51 - 92 - 26 , cpk@info.sgu.ru

International Students: +7 (8452) 50 - 87 - 07 , ied@sgu.ru

Website Editors: +7 (8452) 21 - 06 - 25 , press@sgu.ru

If you see an error, highlight the fragment and press: Ctrl + Enter

Address:

КОНТАКТЫ: Адрес: г. Саратов, ул. Спицына, 1 (корпус 14а).

Phone number:

+7 (8452) 27 - 11 - 96

Email:

 https://sgu.ru/node/62468 QR-code

 Responsible for webpage content Kramarenko Yuliya Vladimirovna
Email: Gladav2002@mail.ru
Translator Efremova Lyudmila Sergeevna
Email: lyudmila.yefremova93@mail.ru

Research and Technology Center “Micro- and Nano-electronics”