Skip to main content Skip to search

You are here

Яфаров
Равиль
Кяшшафович

Профессор
Education: 
Московский институт электронной техники, 1973 г., Автоматика и электроника
Thesis and academic degrees: 
Доктор технических наук,
Academic title: 
Профессор по кафедре физики твердого тела
Research Interests: 
Низкотемпературная плазма
Наноматериалы
Наноэлектроника
Общий стаж: 
52 года
Стаж по специальности: 
52 года
Other Administrative Positions: 

Заведующий лабораторией «Электронно-ионной субмикронной технологии» СФ ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. 

Biography: 

Технологические процессы и оборудование внедрены на ведущих электронных предприятиях России (Зеленоград, Москва, С-Петербург и др.). Разработки защищены патентами РФ.

С участием Яфарова впервые в стране разработаны и изготовлены новые типы источников плазмы, технологическое оборудование на основе микроволнового газового разряда с электронным циклотронным резонансом, разработаны безрадиационные технологические процессы субмонослойного в условиях слабой адсорбции осаждения и сухого суб -100 нм травления материалов микро- и наноэлектроники на основе: 
- кремния и его соединений (аморфного гидрогенезированного, нано- и монокристаллического, карбидов, нитридов кремния и др.) 
- соединений А3В5, 
- различных аллотропных фаз углерода (алмазоподобных, наноалмазографитовых, графитоподобных, наноалмазополимерных и др.), 
- с использованием УФ наноимпринт литографии и высокоразрешающего СВЧ травления разработаны технологии получения решеток магнитных наночастиц с размером 50 нм и периодом 100 нм, что обеспечивает плотность записи более 60 Гбит/дюйм2. 

Читает курсы: «Организация и управление производством, инноватика», «Современные аспекты инженерной деятельности». 

Преподаваемые дисциплины: 
Современные аспекты инженерной деятельности в условиях наукоемкого производства (11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»)
Практика инновационной деятельности (27.03.05 «Инноватика»)
Main Publications: 
  1. Yafarov R. K.  Mechanism of Field Electron Emission by a Field Cathode Coated with a Tunnel-Thin Diamond Film // Technical Physics Letters, 2020, Vol. 46, No. 5, pp. 503–506. DOI: 10.1134/S1063785020050302
  2. Yafarov R. K., Shabunin N.O., Shanygin V. Ya., Zakharevich A.V. Nanocarbon Composites for Non-Incandescent Microwave  Magnetrons and Subterahertz  Ranges. Izv. Saratov Univ. (N.S.), Ser. Physics, vol. 20, iss. 2, pp. 134-143 (in Russian). DOI: https://doi. org/ 10.18500/1817-3020-2020-20-2-134-143.
  3. Davidovich M., Sayapin K., Yafarov R. Simulation of field emission in a heated-less magnetron // 2020 International Conference on Actual Problems of Electron Devices Engineering. IEEE Catalog Number: CFP20521-CDR. P. 34-36. (2020)
  4. Yafarov R. K.  Mechanism of Field Electron Emission by a Field Cathode Coated with a Tunnel-Thin Diamond Film // Technical Physics Letters, 2020, Vol. 46, No. 5, pp. 503-506. DOI: 10.1134/S1063785020050302
  5. Яфаров Р. К., Шабунин Н. О., Шаныгин В.Я., Захаревич А.М.  Наноуглеродные композиты для безнакальных магнетронов СВЧ и субтерагерцового диапазонов.// Изв. Сарат. ун-та. Нов. сер. Сер. Физика. 2020. Т. 20, вып. 2. С. 134-143.
  6. Yafarov R. K.  Tunnel Emission from Nanostructured Field-Emission Array Cathodes with a Fluorine-Carbon Coating // Technical Physics, 2019, Vol. 64, No. 6, pp. 903-907. DOI: 10.1134/S1063784219060240
  7. Davidovich M. V.,  Yafarov R. K. Pulsed and Static Field Emission VAC of Carbon Nanocluster Structures: Experiment and Its Interpretation. // Technical Physics, 2019. Vol. 64, No. 8, p. 1210. DOI: 10.1134/S106378421908005X.
  8. Yafarov R. K., Smirnov A. V.,  Yafarov А.R. On the Phase Transformations and Field-Emission Properties of Diamond and Graphite Structures upon the Ion Implantation of  Nitrogen. //  Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2019, Vol. 13, No. 4, pp. 752-755. DOI: 10.1134/S1027451019040189
  9. Яфаров Р. К., Нефедов Д. В. ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ НАНОКОМПОЗИТОВ  НА АВТОЭМИССИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПЛАНАРНО-ТОРЦЕВЫХ ИСТОЧНИКОВ ЭЛЕКТРОНОВ. // РАДИОТЕХНИКА. 2019 № 7(10). С. 45-51. DOI 10.18127/j00338486-201907(10)-08
  10. Yafarov R. K.  Microstructural Modifications of Diamond-Graphite Nanocomposites for High-Current Field Electron Sources // Journal of Communications Technology and Electronics. Vol. 64, No. 12, pp. 1431-1436. DOI: 10.1134/S1064226919120180
  11. Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я., Нефедов Д.В. УГЛЕРОДНЫЙ ПЛЕНОЧНЫЙ НАНОКОМПОЗИТ ДЛЯ СИЛЬНОТОЧНЫХ ПОЛЕВЫХ ИСТОЧНИКОВ ЭЛЕКТРОНОВ // Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика. 2019. Т. 19., вып. 1. С.68-75.
  12. Яфаров Р.К., Нефедов Д.В. ВЛИЯНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ НА ПОПЕРЕЧНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ ТРАНСПОРТ И ВОЛЬТ-АМПЕРНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КРЕМНИЕВЫХ СТРУКТУР МЕТАЛЛ-ДИЭЛЕКТРИК-ПОЛУПРОВОДНИК// Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика. 2019. Т. 19., вып. 1. С.76-82.
  13. Р. К. Яфаров, А. В. Смирнов, А. Р. Яфаров. ВЛИЯНИЕ УГЛЕРОДНОЙ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ НА АВТОЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ.//  ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ, 2018, № 10, с. 1–6.
  14. Яфаров Р. К. Влияние высокодозной имплантации углерода на фазовый состав, морфологию и автоэмиссионные свойства кристаллов кремния. Физика и техника полупроводников, 2018, том 52, вып. 9. С.980 -985.
  15. Яфаров Р. К. Влияние дипольной поляризации эмитирующей поверхности на пороги автоэмиссии многоострийных кремниевых катодных матриц. //Письма в ЖТФ, 2018, т. 44, вып. 13. С. 68-74.
  16. М.В. Давидович,  Р.К. Яфаров. Размерные эффекты при туннелировании через пленки и структуры из углеродных нанокластеров.// Радиотехника. 2018. №9.  С. 99-111. DOI 10.18127/j00338486-201809-19
  17. Яфаров Р.К., Новиков П.Е., Еремин В.П., Кочнев Д.О. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ СОЗДАНИЯ АВТОЭМИССИОННОГО КАТОДА ДЛЯ БЕЗНАКАЛЬНОГО МАГНЕТРОНА НА ОСНОВЕ АЛМАЗОГРАФИТОВОГО НАНОКОМПОЗИТА // Вопросы электротехнологии. 2018 г. № 2. С.62-71.
  18. Яфаров Р.К., Тимошенков В.П.  ВЛИЯНИЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ РАДИАЦИОННЫХ ДЕФЕКТОВ НА АВТОЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ//  МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, 2018, том 47, № 4, с. 32–39
  19. Яфаров Р.К., Нефедов Д.В. Исследование влияния плотности планарно-торцевого структурирования на автоэмиссионные характеристики катодных матриц // Вопросы электротехнологии. – 2018. - №4.
  20. Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я. Разработка новых технологий получения высокоэффективных полевых источников электронов на кремниевых кристаллах // Вопросы электротехнологии. 2018 - №4.
  21. Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я. Плазмохимическая модификация поверхности кремния (100) при микроволновой плазменной обработке // Прикаспийский журнал: Управление и высокие технологии. 2018 - №3.
  22. Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я. Нелитографическое формирование субнаноразмерных углеродных масочных покрытий на кристаллах кремния (100) // Прикаспийский журнал: Управление и высокие технологии. 2018 - №3.
  23. Давидович М.В., Яфаров Р.К.   Автоэмиссионная шахматная структура на основе алмазографитовых кластеров // Журнал технической физики, 2018, том 88, вып. 2.С. 283-293
  24. Яфаров Р. К., Суздальцев С. Ю., Шаныгин В. Я.  АВТОЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ КРЕМНИЕВЫХ КАТОДНЫХ МАТРИЦ // МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, 2018, том 47, № 2, с. 115–123
  25. Яфаров Р. К. Ионная модификация автоэмиссионных свойств алмазографитовых пленочных структур // Журнал технической физики, 2018, том 88, вып. 1.С. 127 -133
  26. Нефедов Д.В., Яфаров Р. К., Шаныгин В. Я. Исследование автоэмиссионных характеристик планарно-торцевых структур с управляющим электродом // Нелинейный  мир. 2018, № 2. С. 11-12.
  27. Шаныгин В. Я., Яфаров Р. К., Нефедов Д.В. Поверхностное структурирование кристаллов кремния как метод улучшения их автоэмиссионных свойств // Нелинейный  мир. 2018, № 2. С. 13-14.
  28. Яфаров Р. К., Шаныгин В. Я.  ВЛИЯНИЕ МИКРОВОЛНОВОЙ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА МОРФОЛОГИЮ И АВТОЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ// Электронная техника. Серия 3: Микроэлектроника. 2018. № 1 (169). С. 54-58.
  29. Яфаров Р. К. Использование атомной структуры кристаллов кремния для получения многоострийных полевых источников электронов // ФТП. 2018. Т. 52. В. 9. С. 147- 153. DOI: 10.21883/FTP.2018.02.45435.8571. Impact 0,813
  30. Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я. Исследование  влияния плазмохимической модификации на автоэмиссионные свойства кристаллов кремния // Вопросы электротехнологии. 2017. № 4. С.5 -15.
  31. Нефедов Д.В., Суздальцев С.Ю., Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. Создание планарно-торцевых автоэмиссионных структур на кремнии и исследование их характеристик. 13 -й конкурс им. В.А. Анисимкина научных работ молодых ученых, специалистов, аспирантов и студентов. Краткие  сообщения. Нелинейный мир. 2017. Т. 15. № 2. С. 12-13. 
  32. Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К., Суздальцев С.Ю., Нефедов Д.В. Влияние потенциала смещения при СВЧ обработке в плазме различных газов на морфологические и автоэмиссионные свойства пластин SI (100) р – типа.13 -й конкурс им. В.А. Анисимкина научных работ молодых ученых, специалистов, аспирантов и студентов. Краткие  сообщения.  Нелинейный мир. 2017. Т. 15. № 2. С. 32-33. 
  33. Гуляев Ю.В., Яфаров Р.К., Суздальцев С.Ю., Шаныгин В.Я. Туннелирование электронов из кристаллов кремния, поверхностно структурированных с использованием микроволновой плазмы аргона. // Вопросы электротехнологии. 2017. Вып.1. С. 5-12.

 

More
Further training: 
Технологии разработки, реализации и управления проектами, ИДПО ФГБОУ ВО "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского", 2019 г.
Использование электронной информационно-образовательной среды СГУ в образовательном процессе, ФГБОУ ВО "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г.Чернышевского", 2016 г.
Responsible for webpage content Frolov Aleksandr Pavlovich
Email: tanto_85@mail.ru
Translator Efremova Lyudmila Sergeevna
Email: lyudmila.yefremova93@mail.ru