Установка предназначена для производства акустоэлектронных СВЧ приборов, в т.ч. радиочастотных меток в диапазоне 6 ГГц, интегральных схем, полупроводниковых приборов, в т.ч., HEMT- транзисторов, и других устройств с наноразмерными элементами.
Установка травления в индуктивно связанной плазме CORIAL 200 IL (Франция)
