Эти системы, установленные в помещении «чистой комнаты» класса 6 ISO, позволяют изготавливать наноструктуры из металлов, кроме алюминия.
Эти системы, установленные в помещении «чистой комнаты» класса 6 ISO, позволяют изготавливать наноструктуры из металлов, кроме алюминия.