Установка представляет собой метрологическую систему для исследования топографии поверхности образцов с разрешением
по высоте – 5 нм,
в плоскости - 120 нм
Участок контроля качества
Зондовая станция, состоящая из зондовой установки MPI TS150 (Тайвань) и анализатора цепей AgilentTechnology N5230C (США), обеспечивает проведение измерений частотных и временных характеристик акустоэлектронных и полупроводниковых структур в СВЧ диапазоне непосредств
